半導(dǎo)體產(chǎn)品加熱爐將原材料遲緩升溫到適當(dāng)環(huán)境溫度

2024-01-05

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石英退火爐將原材料遲緩升溫到適當(dāng)環(huán)境溫度，保持穩(wěn)定時長，接著以合適速度致冷(通常是緩慢致冷，有時是控制致冷)的一種熱處理工藝。目的是使根據(jù)鍛造、鍛軋、焊接或銑削生產(chǎn)制造的原材料或產(chǎn)品工件變松，改進延展性和可塑性，使成份均勻化，除去剩下應(yīng)力，或得到預(yù)測的物理性能。

石英退火爐

石英退火爐溫度控制均勻性準確測量可選用位移法或一干熱電阻測量方法。前面是運用一支裝配式建筑熱電阻在爐膛內(nèi)挪動，進而測出各一部分的環(huán)境溫度。這些辦法只有準確測量一個平面內(nèi)同一條線里的幾個點，并且不可以測出爐內(nèi)室內(nèi)空間的環(huán)境溫度，因而有局限。只適用退火爐爐內(nèi)規(guī)格較小的爐子。后面一種是由一干熱電阻與此同時放進爐膛內(nèi)對某一區(qū)域完成準確測量。由子準確測量的是一個完整的區(qū)域，又能同時讀值，能夠準確測量各種各樣的爐內(nèi)，生產(chǎn)制造上也較為可用。其實際程序流程如下所示：

按基本程序流程將溫度控制升至查驗所需求的環(huán)境溫度并隔熱保溫2-3鐘頭，隨后開啟爐膛，把充足數(shù)目的準確測量熱電阻按照規(guī)定的地方放進爐膛內(nèi)。為了能能使熱電阻的地方固定不動，通常是依據(jù)爐內(nèi)尺寸大小，先做到一個架構(gòu)。把熱電阻連著架構(gòu)一起放進爐膛內(nèi)，關(guān)掉爐膛后即逐漸讀值。讀值應(yīng)不斷足夠的時間，便于明確環(huán)境溫度的遍布特點。在環(huán)境溫度平穩(wěn)后，讀值應(yīng)再不斷減少30分鐘。