退火爐作用是將工件加熱到預(yù)定溫度，保溫一定的時間后緩慢冷卻的金屬熱處理工藝。上海半導(dǎo)體外延生長爐具體內(nèi)容如下：改善或消除鋼鐵在鑄造、鍛壓、軋制和焊接過程中所造成的各種組織缺陷以及殘余應(yīng)力，防止工件變形、開裂。軟化工件以便進行切削加工。上海半導(dǎo)體外延生長爐細化晶粒，改善組織以提高工件的機械性能。為最終熱處理淬火、回火作好組織準備。

爐壁保溫襯里采用復(fù)合型耐溫材料模塊、全密封爐體配以進口高精度溫控儀表為控制核心的集散式DCS系統(tǒng), 相關(guān)各爐況參數(shù)均實現(xiàn)自動化模糊控制，可靠性高且運行穩(wěn)定。上海半導(dǎo)體外延生長爐全爐密封效果好，與同類爐窯相比具有日常運行及后期維護成本低廉的優(yōu)點。退火爐按熱源分類主要有電熱爐、燃煤退火爐、燃油退火爐、天然氣退火爐、煤氣退火爐等，其中以自備煤氣發(fā)生爐所產(chǎn)煤氣退火爐應(yīng)用最廣泛。煤氣退火窯減去了燃燒室，直接利用煤氣燒嘴在加熱室噴射燃燒。上海半導(dǎo)體外延生長爐為了降低能耗，煤氣退火窯往往配有換熱系統(tǒng)，將空氣轉(zhuǎn)換為助燃熱風(fēng)進行煤氣的助燃。

完全燃燒：燃料中的全部可燃成分在空氣充足的情況下達到完全氧化，上海半導(dǎo)體外延生長爐燃燒產(chǎn)物中沒有游離的C及CO、H2、CH4等可燃成分。不完全燃燒：燃料中的可燃成分沒有完全氧化，燃燒產(chǎn)物中尚存在一些可燃成分，如游離的C及CO、H2、CH4等。空氣過剩系數(shù)：燃料完全燃燒需要供應(yīng)一定量的空氣。上海半導(dǎo)體外延生長爐根據(jù)燃燒化學(xué)反應(yīng)方程式計算出來的單位燃料完全燃燒時所需的空氣量為理論空氣量。實際供應(yīng)的空氣量一般大于理論空氣量，稱為實際空氣量。實際空氣量與理論空氣量的比值稱為空氣過剩系數(shù)。一般氣體燃料的空氣過剩系數(shù)為1.05到1.15。

風(fēng)溫水平降低、噴煤效果差5號高爐風(fēng)溫一直在1200℃以上，但2011年12月至2012年3月由于1號高爐擴容改造造成系流煤氣嚴重不足，甚至熱風(fēng)爐燒爐都不能保證，熱風(fēng)溫度下降100℃以上，同時5號高爐不能富氧，造成噴煤效果變差，惡化爐缸工作。上海半導(dǎo)體外延生長爐無計劃的頻繁休風(fēng)2012年元月12日，退火爐高爐爐況向涼，風(fēng)口全部灌死，休風(fēng)10小時。2012年元月19日，4號、10號風(fēng)口二套燒壞，爐內(nèi)大量進水，休風(fēng)6小時處理。上海半導(dǎo)體外延生長爐2012年元月28日，南料車鋼絲繩拉斷，休風(fēng)12小時處理，頻繁的無計劃休風(fēng)，加劇了爐況的惡化。