箱式回火爐外殼由國標(biāo)鋼板和型鋼焊接制造,爐襯采用輕質(zhì)高鋁節(jié)能保溫磚砌筑,結(jié)合硅酸鋁纖維棉復(fù)合爐襯保溫。重慶半導(dǎo)體外延生長爐箱式回火爐的電熱元件為長壽命設(shè)計(jì)、耐高溫高合制成,布置在爐膛兩側(cè)和爐底。重慶半導(dǎo)體外延生長爐爐門通過電動(dòng)或液壓升降,小型箱式回火爐也可使用手搖爐門,爐門開啟時(shí)有斷路保護(hù)裝置停止送電加熱。采用微電腦溫度控制系統(tǒng)來高精度控制,回火工藝,全自動(dòng)完成從進(jìn)爐到出爐的回火熱處理全過程。
結(jié)構(gòu):退火爐爐門采用輕型鋼結(jié)構(gòu)骨架,耐火纖維做隔熱保溫材料2.爐門提升動(dòng)力:爐門采用電動(dòng)升降,電動(dòng)葫蘆裝在爐門龍門架上方。重慶半導(dǎo)體外延生長爐爐門密封:本爐門采用特殊彈簧與凸輪機(jī)構(gòu)自動(dòng)壓緊和軟邊密封裝置,可使?fàn)t門與爐體自動(dòng)壓緊,確保爐子在生產(chǎn)過程中始終處于密封狀態(tài),杜絕了高溫爐氣的外逸,改善了工作環(huán)境,保證了爐溫均勻性,增強(qiáng)節(jié)能效果。這種爐門密封裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,安全可靠,維修方便。重慶半導(dǎo)體外延生長爐這種機(jī)構(gòu)在近幾年生產(chǎn)的全纖維棉臺(tái)車爐中使用效果很好。
例如鈦合金于加熱和冷卻時(shí)發(fā)生同素異構(gòu)轉(zhuǎn)變,低溫為α相密排六方結(jié)構(gòu)),高溫為β相體心立方結(jié)構(gòu),其中間是“α+β”兩相區(qū),即相變溫度區(qū)間。重慶半導(dǎo)體外延生長爐為了得到接近平衡的室溫穩(wěn)定組織和細(xì)化晶粒,也進(jìn)行重結(jié)晶退火,即緩慢加熱到高于相變溫度區(qū)間不多的溫度,保溫適當(dāng)時(shí)間,使合金轉(zhuǎn)變?yōu)棣孪嗟募?xì)小晶粒;重慶半導(dǎo)體外延生長爐然后緩慢冷卻下來,使β相再轉(zhuǎn)變?yōu)棣料嗷颚?β兩相的細(xì)小晶粒。
首先,硅碳棒加熱后形成濃密的氧化硅膜,從而生成抗氧化保護(hù)膜,延長了硅碳棒的壽命。在使用硅碳棒的過程中,可以使用涂層用于氣體的爐內(nèi)。重慶半導(dǎo)體外延生長爐來防止硅碳棒的裂化,其次在使用硅碳棒的過程中,硅碳棒表面的溫度越高,表示硅碳棒的電流量越大。一般硅碳棒的有效發(fā)熱長度在攝氏度以內(nèi)。重慶半導(dǎo)體外延生長爐硅碳棒表面的實(shí)際功率是由于爐的內(nèi)溫度和硅碳棒表面的溫度決定的。硅鉬棒電流強(qiáng)度。在使用硅碳棒的時(shí)候,供電線與元件間必須有良好的接觸,避免電阻發(fā)熱過多從而造成燒毀接線。由于硅鉬棒運(yùn)行過程中熱膨脹而造成電源線松弛,應(yīng)在使用前把電源線接頭擰緊。
若快切閥顯示為黃色,換向閥顯示為紅色X,即是行程不到位,檢查行程是否脫離設(shè)備,若無脫離,可打開行程開關(guān),檢查行程內(nèi)凸輪是否出現(xiàn)不到位情況,適當(dāng)調(diào)整使之弧度處壓上彈簧片即可。重慶半導(dǎo)體外延生長爐若快切閥或換向閥顯示為紅色或綠色之一,可判定其行程正常,排查重點(diǎn)在動(dòng)作部分。檢查動(dòng)作部分時(shí),先于現(xiàn)場(chǎng)觀察電磁閥兩插頭是否有一個(gè)亮燈,若兩個(gè)都不亮,則為電氣故障。重慶半導(dǎo)體外延生長爐然后,若有一個(gè)亮,可把兩插頭取下,用亮的插頭在兩個(gè)電磁閥插座上輪流插拔試驗(yàn),若汽缸不動(dòng)作,則為機(jī)械故障。若汽缸動(dòng)作,則為電氣故障。
當(dāng)塑料品存在薄和厚位置的連接部位,厚的部位降溫慢、薄的部位降溫快些,則連接處發(fā)生不均勻收縮,結(jié)果就導(dǎo)致應(yīng)力集中現(xiàn)象。重慶半導(dǎo)體外延生長爐在有金屬鑲件的四周,這種現(xiàn)象更明顯。重慶半導(dǎo)體外延生長爐剛出模的時(shí)候表面上無異常,過段時(shí)間,也許是幾天,也許是半年或更長,在外因作用,下溫度,壓力,極性溶液等,應(yīng)力集中部位會(huì)產(chǎn)生裂紋,甚至開裂或者變形。為了消除或減少成型制品中的內(nèi)應(yīng)力、避免制品在貯存或應(yīng)用時(shí)產(chǎn)生較大的變形或開裂,對(duì)成型后的一些制品要進(jìn)行退火處理。