等溫式退火是應(yīng)用于鋼和某些非鐵合金如鈦合金的一種控制冷卻的退火方法。四川半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐對(duì)鋼來(lái)說(shuō)，是緩慢加熱到 Ac3亞共析鋼或 Ac1共析鋼和過(guò)共析鋼以上不多的溫度，保溫一段時(shí)間，使鋼奧氏體化，然后迅速移入溫度在A1以下不多的另一爐內(nèi)，等溫保持直到奧氏體全部轉(zhuǎn)變?yōu)槠瑢訝钪楣怏w亞共析鋼還有先共析鐵素體；四川半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐過(guò)共析鋼還有先共析滲碳體為止，最后以任意速度冷卻下來(lái)通常是出爐在空氣中冷卻。

目前等直徑硅碳棒的生產(chǎn)工藝有兩種，老工藝與新工藝，區(qū)別方法在與從燒結(jié)方式上。四川半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐老工藝采用的是埋藏反應(yīng)燒結(jié)，新工藝采用的是高溫真空爐燒結(jié)。由于埋藏?zé)菩枰妹?，?duì)環(huán)境有一定的污染，好多都已取締，大多采用新工藝制作。四川半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐比如在鋁廠，玻璃廠，釩氮合金，反光材料產(chǎn)品燒結(jié)中會(huì)產(chǎn)生一定的腐蝕氣體，老工藝比新工藝元件的耐腐蝕性要好。等直徑硅碳棒元件是很高的純度以碳化硅為主要原料，加入工業(yè)硅，碳粉等材料。經(jīng)過(guò)成型，烘干，高溫?zé)Y(jié)等多道工序而制成的一種非金屬棒狀高溫電熱元件。

根據(jù)塑料件品種的不同，調(diào)節(jié)退火溫度。四川半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐把天然氣模殼焙燒爐中成型脫模后的注塑制品放在有一定溫度的加熱介質(zhì)或有熱空氣循環(huán)的烘箱中，加熱到比產(chǎn)品使用溫度高二十度到三十五度或者比產(chǎn)品的熱變形溫度低25-35度的溫度下，將產(chǎn)品放進(jìn)去。過(guò)高溫度中制品要變形，但不能溫度過(guò)低，過(guò)低溫度退火，不能達(dá)到退火效果。四川半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐退火的時(shí)間長(zhǎng)短要視產(chǎn)品的壁厚而定，越厚的壁要退火的時(shí)間越長(zhǎng)。熱處理時(shí)間達(dá)到要求后，制件隨介質(zhì)一起緩慢自然降溫至室溫。注意，處理后的制品如果用冷水急劇降溫或直接從熱處理介質(zhì)中取出降溫，制品由于冷卻速度的不同，又會(huì)產(chǎn)生新的內(nèi)應(yīng)力。

退火爐作用是將工件加熱到預(yù)定溫度，保溫一定的時(shí)間后緩慢冷卻的金屬熱處理工藝。四川半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐具體內(nèi)容如下：改善或消除鋼鐵在鑄造、鍛壓、軋制和焊接過(guò)程中所造成的各種組織缺陷以及殘余應(yīng)力，防止工件變形、開(kāi)裂。軟化工件以便進(jìn)行切削加工。四川半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐細(xì)化晶粒，改善組織以提高工件的機(jī)械性能。為最終熱處理淬火、回火作好組織準(zhǔn)備。

例如鈦合金于加熱和冷卻時(shí)發(fā)生同素異構(gòu)轉(zhuǎn)變，低溫為α相密排六方結(jié)構(gòu))，高溫為β相體心立方結(jié)構(gòu)，其中間是“α+β”兩相區(qū)，即相變溫度區(qū)間。四川半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐為了得到接近平衡的室溫穩(wěn)定組織和細(xì)化晶粒，也進(jìn)行重結(jié)晶退火，即緩慢加熱到高于相變溫度區(qū)間不多的溫度，保溫適當(dāng)時(shí)間，使合金轉(zhuǎn)變?yōu)棣孪嗟募?xì)小晶粒；四川半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐然后緩慢冷卻下來(lái)，使β相再轉(zhuǎn)變?yōu)棣料嗷颚?β兩相的細(xì)小晶粒。

化退火主要用于的各種高碳工具鋼、模具鋼、軸承鋼。低中碳鋼為了改變冷變形工藝性，有時(shí)也進(jìn)行球化退火。四川半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐球化退火的方式主要有以下幾種，可根據(jù)具體情況進(jìn)行選擇。在稍低于Ar1溫度長(zhǎng)時(shí)間保溫。在稍高于Ac1或稍低于Ar1溫度區(qū)間循環(huán)加熱和冷卻。四川半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐加熱到高于Ac1溫度，然后以極慢的冷速爐冷或在pp稍低于Ar1溫度保溫較長(zhǎng)時(shí)間再冷卻到室溫。對(duì)過(guò)共析鋼，先進(jìn)行奧氏體化使碳化物充分分解加熱溫度選擇在保證碳化物溶解的下限，隨后以加高速度冷卻以防止網(wǎng)狀碳化物析出工件在一定溫度下變形，然后在低于Ac1溫度長(zhǎng)時(shí)間保溫進(jìn)行球化退火。