退火是一種金屬熱處理工藝，指的是將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時(shí)間，然后以適宜速度冷卻。目的是降低硬度，改善切削加工性；廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐消除殘余應(yīng)力，穩(wěn)定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細(xì)化晶粒，調(diào)整組織，消除組織缺陷。廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐準(zhǔn)確的說(shuō)，退火是一種對(duì)材料的熱處理工藝，包括金屬材料、非金屬材料。而且新材料的退火目的也與傳統(tǒng)金屬退火存在異同。在熱處理工藝中退火的常用設(shè)備是退火爐。

調(diào)節(jié)閥可參考其關(guān)聯(lián)溫度判斷設(shè)備是否工作正常。若出現(xiàn)故障，先關(guān)閉電源控制柜內(nèi)其工作電源，打開(kāi)現(xiàn)場(chǎng)閥蓋，在確認(rèn)閥內(nèi)模塊不帶電的情況下，用內(nèi)六方扳手旋轉(zhuǎn)閥體。廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐若旋轉(zhuǎn)感覺(jué)很卡，則為機(jī)械故障，若感覺(jué)旋轉(zhuǎn)順暢，則為電氣故障。廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐模擬量部分此處模擬量指溫度、壓力和流量等。除空氣總管壓力和煤氣總管壓力外，其余模擬量不參與控制。

操作者應(yīng)遵守臺(tái)車式退火爐，退火熱處理的操作規(guī)程，仔細(xì)檢查儀表、熱電偶、電氣設(shè)備接地是否完好；廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐如發(fā)現(xiàn)電線隔緣皮有破損，定要立向車間領(lǐng)導(dǎo)報(bào)告阻止發(fā)生觸電事故廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐檢查加熱元件是否損壞，連接之間的接觸是否良好，爐底板及電阻絲是否完好，是否與爐體和殼體接觸。檢查溫度控制系統(tǒng)中是否有異常現(xiàn)象。檢查爐門升降情況，臺(tái)車運(yùn)行正常。嚴(yán)禁腐蝕性、揮發(fā)性和爆裂性氣體進(jìn)入臺(tái)車式退火爐的爐體進(jìn)行加工，以免影響退火爐的發(fā)熱元件和耐火材料的使用壽命，并引起爆裂事故。轉(zhuǎn)向架烘箱不應(yīng)越過(guò)溫度，否則會(huì)縮短設(shè)備的使用壽命。在清潔爐之前，從轉(zhuǎn)向架上除去太多的氧化物。

例如鈦合金于加熱和冷卻時(shí)發(fā)生同素異構(gòu)轉(zhuǎn)變，低溫為α相密排六方結(jié)構(gòu))，高溫為β相體心立方結(jié)構(gòu)，其中間是“α+β”兩相區(qū)，即相變溫度區(qū)間。廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐為了得到接近平衡的室溫穩(wěn)定組織和細(xì)化晶粒，也進(jìn)行重結(jié)晶退火，即緩慢加熱到高于相變溫度區(qū)間不多的溫度，保溫適當(dāng)時(shí)間，使合金轉(zhuǎn)變?yōu)棣孪嗟募?xì)小晶粒；廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐然后緩慢冷卻下來(lái)，使β相再轉(zhuǎn)變?yōu)棣料嗷颚?β兩相的細(xì)小晶粒。

臺(tái)車式退火爐是國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)節(jié)能型周期式作業(yè)爐，超節(jié)能結(jié)構(gòu)，采用纖維結(jié)構(gòu)，節(jié)電百分之30。生產(chǎn)采用復(fù)合式高鋁瓷釘組，臺(tái)車防撞擊密封磚，自動(dòng)密封臺(tái)車和爐門，一體化連軌，不需基礎(chǔ)安裝，放在水平地面即可使用。廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐主要用于高鉻、高錳鋼鑄件、球墨鑄鐵、軋輥、鋼球、45鋼、不銹鋼等淬火、退火、時(shí)效以及各種機(jī)械零件熱處理之用。產(chǎn)品特點(diǎn)：無(wú)噪聲，無(wú)環(huán)境污染。蓄熱性小，熱量流失少。控溫精度高，爐溫均勻性強(qiáng)。廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐自動(dòng)化程度高，操作簡(jiǎn)單。可采用PID編程設(shè)定，全自動(dòng)運(yùn)行。密封性好，壽命長(zhǎng)，安全可靠。廣泛應(yīng)用于化工、石油、食品、冶金、機(jī)械、輕工、電力、船舶、造紙、礦山、醫(yī)藥、集中供熱等工業(yè)部門。隨著社會(huì)生產(chǎn)力的發(fā)展，其在各行業(yè)中的應(yīng)用越來(lái)越廣泛。