故障出現(xiàn)后，監(jiān)控主畫面上方會出現(xiàn)報警提示，根據(jù)提示內(nèi)容可初步判定故障設(shè)備，報警具體如下：V101閥位報警、V105閥位報警加熱段煤氣換向報警加熱段空氣換向報警、保溫段煤氣換向報警、保溫段空氣換向報警。連云港半導(dǎo)體生長爐其中，V101閥即加熱段煤氣快切閥，V105閥即保溫段煤氣快切閥。每一設(shè)備由動作部分和閥位反饋部分組成。動作部分由電磁閥帶氣動元件發(fā)生動作。連云港半導(dǎo)體生長爐出現(xiàn)上述報警后，首先查看報警設(shè)備在監(jiān)控主畫面上顯示的顏色，確定其狀態(tài)。

鋼的重結(jié)晶退火工藝是：緩慢加熱到亞共析鋼或共析鋼或過共析鋼以上三十到五十?dāng)z氏度，保持適當(dāng)時間，然后緩慢冷卻下來。連云港半導(dǎo)體生長爐通過加熱過程中發(fā)生的珠光體或者還有先共析的鐵素體或滲碳體轉(zhuǎn)變?yōu)閵W氏體以及冷卻過程中發(fā)生的與此相反的第二回相變重結(jié)晶，形成晶粒較細(xì)、片層較厚、組織均勻的珠光體或者還有先共析鐵素體或滲碳體。連云港半導(dǎo)體生長爐退火溫度在亞共析鋼使鋼發(fā)生完全的重結(jié)晶者，稱為完全退火，退火溫度在Ac1與Ac3之間 亞共析鋼或Ac1與Acm之間過共析鋼，使鋼發(fā)生部分的重結(jié)晶者，稱為不完全退火。

經(jīng)冷塑性變形加工的工件加熱到再結(jié)晶溫度以上，保持適當(dāng)時間，通過再結(jié)晶使冷變形過程中產(chǎn)生的晶體學(xué)缺陷基本消失，重新形成均勻的等軸晶粒，以消除變形強(qiáng)化效應(yīng)和殘余應(yīng)力的退火。連云港半導(dǎo)體生長爐一般鋼材再結(jié)晶退火溫度在六百攝氏度到七百攝氏度之間不等，連云港半導(dǎo)體生長爐保溫一到三個小時空冷，對含質(zhì)量分?jǐn)?shù)小于百分之零點(diǎn)二的普通碳鋼，在冷變形時臨界變形速度若達(dá)百分之六到百分之十五的范圍，則再結(jié)晶退火后易出現(xiàn)粗晶，因此應(yīng)避免在該范圍內(nèi)變形。

爐體外殼采用型鋼及鋼板焊接而成。爐蓋支撐采用型鋼和導(dǎo)軌組合移動式。連云港半導(dǎo)體生長爐加熱元件采用北京首鋼產(chǎn)的高電阻合金布置在爐側(cè)。爐底由于承重采用高鋁磚砌筑爐子中心采用大圈套小圈做法，里外加熱。爐蓋采用液壓升降，電機(jī)控制自動行走。溫控系統(tǒng)采用PID可控硅控制，精度高。連云港半導(dǎo)體生長爐在闡述這個問題前我們先來了解一下鑄件的生產(chǎn)過程：鑄件是通過加熱鑄件將其在爐內(nèi)融化成液體金屬澆鑄到與零件形狀相適應(yīng)的鑄造空腔中，待其冷卻凝固后，獲得具有一定形狀、尺寸和性能金屬零件毛坯。